单点金刚石切削技术是一种纳米级超精密切削加工技术。中物院研发的单点金刚飞切机床，其运动部件全部采用了空气静压支承技术，运动精度极高；主轴和导轨驱动采用了当前最先进的力矩电机和直线电机直接驱动，有效避免了联轴器带来的驱动干扰问题；机床整体采用空气弹簧隔振，有效抑制了环境振动对机床加工精度的影响。可以将有色金属、塑料、红外光学晶体等材料直接加工达到光学镜面水平，非常适合光学零件的批量生产，在国防工业和民用工业中具有广泛的应用。

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图1单点金刚石飞切机床

 

图2 330mm×330mm KDP光学晶体加工样品，面形精度PV=3.03μm、粗糙度Rq=3.3nm

图3 Φ100mm铝镜面形加工样品，精度优于0.2μm