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CCD自动对位全自动曝光机

作者: 来源:中物院军转民发展部  访问: 时间:2013/11/5 [ ] [ 打印 ] [ 关闭 ] [ 收藏 ]

  全自动外层平行光曝光机是具备多项自主知识产权的高精尖图像转移设备,该设备融合光、机、电、流体、软件等多项科研成果,集成国内外先进曝光技术,其高能量、高精度、高分辨率、高可靠性等显著优势稳居国内之首,所具备恒温恒湿、等离子风刀除尘、远程故障诊断等系统,大幅度提高产品的一次合格率和生产效率。

  采用自主设计的优质光学元件和精密的安装尺寸,使其具备高精度的对位系统,实现了底片/底片对位精度±5um(真空后),底片/PCB板对位精度±10um(真空后),线宽/线距50um(量产)。

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文章录入:李德 责任编辑:李德
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